A．金属性越强，最高价氧化物对应水化物的碱性越强：Z>M，A错误；

B．Y、R两种元素气态氢化物分别是HF、HCl，氟化氢分子之间形成氢键，Y、R两种元素气态氢化物的沸点：Y>R，B错误；

C．X为O元素、Z为Na元素、M为Al元素，三种元素的简单离子核外电子排布相同，核电荷数越大，离子半径越小，因此简单离子的半径：M＜Z＜X，C正确；

D．X、N两种元素组成的化合物是二氧化硅，二氧化硅与氢氟酸反应，D错误。

故选C。